第189章 令人震惊的性能
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这一消息无疑一场晴天霹雳，把陈所长震得心神恍忽，随后露出不敢置信的神色。
好吧，虽然之前燧人科技在发布会上说了可以通过其蜂巢复眼镜头技术制成极紫外光源，但那只是可能。
加上花为的牵线，长光机电所就答应了和燧人科技的合作，只是也没有指望燧人那么快能够造出来。
可是现在才过了几个月？
就这么把极紫外光源造出来了？
这是开挂了吧？
坐火箭的速度也没有这么快的！
“这消息千真万确？”
“比珍珠还真。”
“......”
挂断了电话，陈所长沉默了一下，然后就不澹定了。
直接唤来自己的小助理，“小李，赶紧去给我订最近一半去凤城的机票，我要去燧人科技！切记！一定要快！”
“好！
我马上去订票！”
小助理被陈所长这幅如饥似渴的神态吓住了，平时所长可是澹定和蔼的，没想到今天却如此着急激动。
于是，他便赶紧去订购机票了。
要不然所长大人非得把他吃了不可。
......
另一边
离得比较近的花为副总陪着任老爷子来到了燧人科技的重明鸟光学技术研发实验室里。
作为燧人科技的合作伙伴与盟友，张云也第一时间收到了来自许黎的消息，并将这件事告诉了还在喝茶养生的任老，然后就马不停蹄地赶了过来。
“许先生，EUV光源真的成功了吗？可以让我们看看吗？”
任老上来就有些急不可耐。
“当然可以，请。”
许黎点点头，随后便带着几人进了实验室。
极紫外光源仿佛一个绝美的宝藏在他们眼前熠熠生辉。
“性能怎么样？”
任老问了一句。
“根据我们反复实验，其最终实际CE值为45%，输出功率为220w。”
一般衡量EUV光源性能主要有两个指标：转换效率（m附近2%带宽内输出的能量占总输入能量的百分比；以及输出功率，即在中间会聚点（IF）处测得的功率。
“CE值45%？！你确定？”
一旁的张云惊疑了一声。
他虽然是花为管理层，但也是理工出身，加上这些年时不时会学习，与时俱进，自然知道这个数值的意义。
要知道极紫外光刻机的光电转换效率仅仅只有0.02~0.05%左右。
因为极紫外光能够被绝大部分材料吸收，所以必须消耗电力把整个环境都抽成真空。
另外，极紫外光也能被透镜吸收。
因此，将极紫外光集中到一起只能靠反射了。用硅与钼制成的镀膜反射镜，可以用来集中极紫外光。但是极紫外光每被反射一次，能量就会损失三成。极紫外光从光源出发，经过十几次反射，到达晶圆的时候，只剩下不到2％的光线了。
而要得到这样高功率的极紫外光，需要极大的激光器。但是这样的激光器在工作时会产生很大的热量，需要一套优良的散热冷却系统，才能保证机器正常工作，而这又需要消耗大量电力。
据悉，目前AMSL公司的极紫外光刻机的输出功率为250w，要达到这样的输出功率，需要0．125万千瓦的电力输入才能维持，相当于一天要消耗3三万度电.
可以说，EUV光刻机可是一只吞电巨兽啊！恐怖如斯！
这些电都可以让夏天的小伙伴在家开好几个月的空调了，即使不用空调，也够好几年的家庭用电了。
所以，即使就算造出了极紫外光刻机，那其恐怖的耗电量也能让钱包大大缩水一圈的。
但是现在他听到了什么？
45%的转换效率？
这可是连ASML的光刻机都做不到这样的转换效率。
这要是安装在一台顶配的光刻机上，那性能将大大提高，而且耗电量也不用那么的恐怖。
如果能够配合这样的极紫外光源，那改造的光刻机或许能够将芯片制程提升到十几纳米。
“真是太好了，或许我们接下来就不用这么被动了，许先生，你真是让我惊喜啊！”
任老笑道，上次虽然在发布会上说了要搞极紫外光源，任老也当即决定和燧人科技合作，希望能够借助长光机电所的科研实力，共同改进光刻机，希望能够提升到14纳米的水平。
原以为要等很久，但是这个合作貌似快要实现了。
“嗯，接下来就让我拭目以待吧！”
许黎点了点头。
然后他和任老商量了一下，决定暂时不将这个消息放出来，先压着。
等陈所长过来进行正式改造光刻机的流程，重明鸟这边会按照现有设计完善光学系统，并送到长光机电所进行光刻机的改造。
第二天，陈所长也是如预料之中的到来。
许黎带着他看了一下研制出来的极紫外光源，然后按照陈所长请求测试了一下。
陈所长显示震惊了一下，后又是欣喜若狂。
他不住地紧握着许黎的双手，有些颤抖地说道：“许先生，起初我以为你们进度这边没那么快，没想到却让我出乎意料，这极紫外光源要是安装在我们的光刻机上，那等于如虎添翼。”
虽然有了极紫外光源不能追上ASML5nmEUV光刻机的工艺水平，但是也能让国产光刻机性能提高不少，这无疑是一大进步。
这些年来，也不知道有多少国内的专家科研团队耗费脑汁和精力，但是突破实在太难了。
因为光刻机即使是西方也要凑队友才能组装起来，非一国之力就能在短期内简单拼凑的。
国家为此也大力对光刻机和半导体产业企业进行大力度的优惠力度和倾斜政策，并且还投了不少资源进去。
但是依旧无果，而其中也有不少企业高管为了骗补贴、玩弄金融去弄虚作假，这些新闻屡见不鲜。
引起了国内广大人民群众的愤怒，同时也打击了国内民众和科学界的信心。
但是现在出现了这么一道曙光，或许能够给国内半导体行业乃至全国人民一个振作信心的机会。
“对了，许先生，你们也需要尽快向国家相关部门汇报并提交相关非核心专利，这样也有不少好处。”
陈所长提醒了一下。
“这个我懂的。”许黎颔首道。
这一消息无疑一场晴天霹雳，把陈所长震得心神恍忽，随后露出不敢置信的神色。
好吧，虽然之前燧人科技在发布会上说了可以通过其蜂巢复眼镜头技术制成极紫外光源，但那只是可能。
加上花为的牵线，长光机电所就答应了和燧人科技的合作，只是也没有指望燧人那么快能够造出来。
可是现在才过了几个月？
就这么把极紫外光源造出来了？
这是开挂了吧？
坐火箭的速度也没有这么快的！
“这消息千真万确？”
“比珍珠还真。”
“......”
挂断了电话，陈所长沉默了一下，然后就不澹定了。
直接唤来自己的小助理，“小李，赶紧去给我订最近一半去凤城的机票，我要去燧人科技！切记！一定要快！”
“好！
我马上去订票！”
小助理被陈所长这幅如饥似渴的神态吓住了，平时所长可是澹定和蔼的，没想到今天却如此着急激动。
于是，他便赶紧去订购机票了。
要不然所长大人非得把他吃了不可。
......
另一边
离得比较近的花为副总陪着任老爷子来到了燧人科技的重明鸟光学技术研发实验室里。
作为燧人科技的合作伙伴与盟友，张云也第一时间收到了来自许黎的消息，并将这件事告诉了还在喝茶养生的任老，然后就马不停蹄地赶了过来。
“许先生，EUV光源真的成功了吗？可以让我们看看吗？”
任老上来就有些急不可耐。
“当然可以，请。”
许黎点点头，随后便带着几人进了实验室。
极紫外光源仿佛一个绝美的宝藏在他们眼前熠熠生辉。
“性能怎么样？”
任老问了一句。
“根据我们反复实验，其最终实际CE值为45%，输出功率为220w。”
一般衡量EUV光源性能主要有两个指标：转换效率（m附近2%带宽内输出的能量占总输入能量的百分比；以及输出功率，即在中间会聚点（IF）处测得的功率。
“CE值45%？！你确定？”
一旁的张云惊疑了一声。
他虽然是花为管理层，但也是理工出身，加上这些年时不时会学习，与时俱进，自然知道这个数值的意义。
要知道极紫外光刻机的光电转换效率仅仅只有0.02~0.05%左右。
因为极紫外光能够被绝大部分材料吸收，所以必须消耗电力把整个环境都抽成真空。
另外，极紫外光也能被透镜吸收。
因此，将极紫外光集中到一起只能靠反射了。用硅与钼制成的镀膜反射镜，可以用来集中极紫外光。但是极紫外光每被反射一次，能量就会损失三成。极紫外光从光源出发，经过十几次反射，到达晶圆的时候，只剩下不到2％的光线了。
而要得到这样高功率的极紫外光，需要极大的激光器。但是这样的激光器在工作时会产生很大的热量，需要一套优良的散热冷却系统，才能保证机器正常工作，而这又需要消耗大量电力。
据悉，目前AMSL公司的极紫外光刻机的输出功率为250w，要达到这样的输出功率，需要0．125万千瓦的电力输入才能维持，相当于一天要消耗3三万度电.
可以说，EUV光刻机可是一只吞电巨兽啊！恐怖如斯！
这些电都可以让夏天的小伙伴在家开好几个月的空调了，即使不用空调，也够好几年的家庭用电了。
所以，即使就算造出了极紫外光刻机，那其恐怖的耗电量也能让钱包大大缩水一圈的。
但是现在他听到了什么？
45%的转换效率？
这可是连ASML的光刻机都做不到这样的转换效率。
这要是安装在一台顶配的光刻机上，那性能将大大提高，而且耗电量也不用那么的恐怖。
如果能够配合这样的极紫外光源，那改造的光刻机或许能够将芯片制程提升到十几纳米。
“真是太好了，或许我们接下来就不用这么被动了，许先生，你真是让我惊喜啊！”
任老笑道，上次虽然在发布会上说了要搞极紫外光源，任老也当即决定和燧人科技合作，希望能够借助长光机电所的科研实力，共同改进光刻机，希望能够提升到14纳米的水平。
原以为要等很久，但是这个合作貌似快要实现了。
“嗯，接下来就让我拭目以待吧！”
许黎点了点头。
然后他和任老商量了一下，决定暂时不将这个消息放出来，先压着。
等陈所长过来进行正式改造光刻机的流程，重明鸟这边会按照现有设计完善光学系统，并送到长光机电所进行光刻机的改造。
第二天，陈所长也是如预料之中的到来。
许黎带着他看了一下研制出来的极紫外光源，然后按照陈所长请求测试了一下。
陈所长显示震惊了一下，后又是欣喜若狂。
他不住地紧握着许黎的双手，有些颤抖地说道：“许先生，起初我以为你们进度这边没那么快，没想到却让我出乎意料，这极紫外光源要是安装在我们的光刻机上，那等于如虎添翼。”
虽然有了极紫外光源不能追上ASML5nmEUV光刻机的工艺水平，但是也能让国产光刻机性能提高不少，这无疑是一大进步。
这些年来，也不知道有多少国内的专家科研团队耗费脑汁和精力，但是突破实在太难了。
因为光刻机即使是西方也要凑队友才能组装起来，非一国之力就能在短期内简单拼凑的。
国家为此也大力对光刻机和半导体产业企业进行大力度的优惠力度和倾斜政策，并且还投了不少资源进去。
但是依旧无果，而其中也有不少企业高管为了骗补贴、玩弄金融去弄虚作假，这些新闻屡见不鲜。
引起了国内广大人民群众的愤怒，同时也打击了国内民众和科学界的信心。
但是现在出现了这么一道曙光，或许能够给国内半导体行业乃至全国人民一个振作信心的机会。
“对了，许先生，你们也需要尽快向国家相关部门汇报并提交相关非核心专利，这样也有不少好处。”
陈所长提醒了一下。
“这个我懂的。”许黎颔首道。